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堺10代工厂公开LTPS试制品玻璃基板采用激光退火

时间:2022-07-05 00:09
本文摘要:堺显示屏商品企业(SDP)在用以全世界仅次规格(2880mm3130mm)玻璃基板的该企业第10代液晶显示屏工厂,成功大批量生产了超低温光伏电池(LTPS)TFT液晶面板。该企业在此前举行的显示屏学好SID2016的开发者发布会上初次公布发布了试制品(公布发布编号:67.1)。 据了解,它是在堺工厂制做的第一款超低温光伏电池TFT液晶面板,显示屏尺寸为19.5英寸,图像分辨率为4k高清(38402160),细腻数为226ppi。

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堺显示屏商品企业(SDP)在用以全世界仅次规格(2880mm3130mm)玻璃基板的该企业第10代液晶显示屏工厂,成功大批量生产了超低温光伏电池(LTPS)TFT液晶面板。该企业在此前举行的显示屏学好SID2016的开发者发布会上初次公布发布了试制品(公布发布编号:67.1)。

据了解,它是在堺工厂制做的第一款超低温光伏电池TFT液晶面板,显示屏尺寸为19.5英寸,图像分辨率为4k高清(38402160),细腻数为226ppi。  SDP方案17年初刚开始生产制造应用该技术的栅极光耦电路一身型8K低细腻(326ppi)液晶面板。本次发布的LTPS技术构想在堺的第10代工厂导入,作为批量生产8K等大中型低细腻液晶电视机和大中型有机EL电视机用以的控制面板。

据了解,从目前的非晶硅TFT工厂进行转换需要的增加项目投资成本费较较少,也有望搭建低生产率。增加项目投资成本费仅有向应用过去技术的LTPSTFT生产流水线转换时的1/9,向IGZOTFT生产流水线转换时的1/2。

  那麼,为什么应用LTPS呢?缘故是,与如今的大中型控制面板用以的非晶硅TFT相比,LTPSTFT的载流子电子密度低,更非常容易驱动器8K等低细腻液晶面板和元器件插电的有机EL控制面板。但是,LTPS先前只被作为利用第六代下列基钢板生产制造的大中小型控制面板。缘故取决于生产制造设备。

LTPS是根据向大中型液晶面板用以的非晶硅膜自然光激光器进行热处理工艺,使熔化的硅新的结晶体制做而出的。但过去的激光退火技术没抵制第10代大中型玻璃基板的设备,数最多不可以抵制第六代基钢板。  因而,SDP导入了能抵制第10代大中型玻璃基板的全新升级激光退火技术,也就是必须仪器设备地部分自然光激光器的部分激光退火技术。

该企业把利用该技术制做的光伏电池称之为PLAS(PartialLaserAnnealSilicon)。如今的LTPS工厂全是应用根据光线线对整块基钢板进行热处理工艺的激光近视手术淬火技术。  部分激光退火技术的特性是,必须像过去技术那般向整块基钢板自然光激光器,因而激光退火工艺流程的应急处置時间能够增加一位数。

此外,过去的LTPS应用顶栅构造,而应用部分激光退火技术的LTPS能够必需用以非晶硅TFT的底栅构造。并且必须导入像IGZO那般的新型材料。因而,堺第10代工厂等非晶硅TFT生产流水线搭建LTPS化时,优势是增加的破乳工艺流程、光刻技术工艺流程及其适度的生产制造设备比较较少。

  利用部分激光退火技术制做的LTPSTFT的载流子电子密度比较之下小于非晶硅,与IGZO为同样水准。利用第二.5代试生产线制做的TFT的载流子电子密度为28.一厘米2。


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